Le NX540 à 3 bras, structure mono-bras rigide qui peut facilement atteindre les étages des plaquettes avec un espace haute performance de 300 plaquettes par heure (WPH) de FOUP à l'aligneur, puis à la scène avec un double bras manipulateur, conforme aux normes ISO classe 1, système SEMI-F47 standard de solution immédiate à la chute de tension et redémarrage du système automatique lorsque la tension est rétablie, protection SEMI-S2 standard à l'environnement, à la sécurité personnelle, système anticollision
Contrôleur D
Les contrôleurs D sont conçus pour développer des applications en salle blanche comprenant un processus d'asservissement numérique complet, port de communication Ethernet standard, encombrement réduit, développement flexible de différents logiciels, fonctionnement indépendant de deux bras et commandes multi-axes, servoamplificateurs uniformes pour tous les axes, normes environnementales , santé et sécurité SEMI S2, salle blanche ISO 1.
Spécification du contrôleur D60
- Système numérique complet Servo
- Axes contrôlés: maximum 7 axes
- Enseignement manuel, semi-automatique, entièrement automatique.
- Arrêt d'urgence externe, proche de la sécurité, arrêt externe.
- Matériel: RS232C x 1 Ethernet.
- Logiciel: K-Utility (commande de communication Kawasaki originale pour robots propres).
- Energie: Tension: monophasée, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Signal d'entrée: 16 canaux maximum.
- Signal de sortie: Maximum de 8 canaux
- Série de robots compatibles: NS, NT, NX, TT, TX et NV
Spécification du contrôleur D61
- Système numérique complet Servo
- Axes contrôlés: maximum 12 axes
- Enseignement manuel, semi-automatique, entièrement automatique.
- Arrêt d'urgence externe, proche de la sécurité, arrêt externe.
- Matériel: RS232C x 2 Ethernet.
- Logiciel: K-Utility (commande de communication Kawasaki originale pour robots propres).
- Energie: Tension: monophasée, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Signal d'entrée: 96 canaux maximum
- Signal de sortie: Maximum de 80 canaux
- Série de robots compatibles: NS, NT, NX, TT, TX et NV
Principales spécifications
Nombre d'axes: 4
Classe ISO 1
Lien: 3
Répétabilité: ± 0.25 mm
Contrôleur: D60 / D61
Classe ISO 1
Lien: 3
Répétabilité: ± 0.25 mm
Contrôleur: D60 / D61
Plage de mouvement (°)
| axe θ (rotation JT2) |
318 ° |
| 440 mm | |
| Axe z (JT3 haut-bas) |
1 232 mm |
| 336 ° | |
| Axe X (in / out JT4) |
|
| Axe W - inférieur (rotation JT6) |
- |
| Axe W - supérieur (rotation JT7) |
Applications de robot
Chambre propre
