Der NX510 ist ein Roboter, der über eine starre Armstruktur verfügt, die auf engstem Raum die Stufen der Wafer sowie die FOUP in beliebigen Positionen leicht erreichen kann. kann mit 2 oder 3 FOUP ohne eine Spur verwenden, erfüllt die Standards der ISO Klasse 1, Standard SEMI-F47 System der sofortigen Lösung für den Spannungsabfall und Neustart des automatischen Systems, wenn die Spannung wiederhergestellt wird, Standard SEMI-S2 Schutz der Umwelt und persönliche Sicherheit, Antikollisionssystem, hohe Linearität, Positionierung und große Präzision.
Controller D
D-Controller wurden entwickelt, um Reinraumanwendungen zu entwickeln, die einen kompletten digitalen Servoprozess, einen Standard-Ethernet-Kommunikationsanschluss, eine kompakte Grundfläche, flexible Entwicklung verschiedener Software, unabhängigen Betrieb von zwei Armen und Mehrachssteuerungen, einheitliche Servoverstärker für alle Achsen und Standards umfassen , Gesundheit und Sicherheit SEMI S2, weißer Raum ISO 1.
Spezifikation des D60-Controllers
- Servo komplettes digitales System
- Kontrollierte Achsen: Maximal 7 Achsen
- Manuelles, halbautomatisches, vollautomatisches Teachen.
- Externer Notstopp, in der Nähe von Sicherheit, externer Stopp.
- Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
- Software: K-Utility (ursprünglicher Kawasaki-Kommunikationsbefehl für saubere Roboter).
- Energie: Spannung: einphasig, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Eingangssignal: Maximal 16 Kanäle.
- Ausgangssignal: Maximal 8 Kanäle
- Kompatible Roboterserien: NS, NT, NX, TT, TX und NV
Spezifikation des D61-Controllers
- Servo komplettes digitales System
- Kontrollierte Achsen: Maximal 12 Achsen
- Manuelles, halbautomatisches, vollautomatisches Teachen.
- Externer Notstopp, in der Nähe von Sicherheit, externer Stopp.
- Hardware: RS232C x 2 Ethernet.
- Software: K-Utility (ursprünglicher Kawasaki-Kommunikationsbefehl für saubere Roboter).
- Energie: Spannung: einphasig, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Eingangssignal: Maximal 96 Kanäle
- Ausgangssignal: Maximal 80 Kanäle
- Kompatible Roboterserien: NS, NT, NX, TT, TX und NV
Hauptspezifikationen
Anzahl der Achsen: 4
ISO-Klasse 1
Link: 2
Wiederholbarkeit: ± 0,1 mm (Wafer-Mitte)
Controller: D60 / D61
ISO-Klasse 1
Link: 2
Wiederholbarkeit: ± 0,1 mm (Wafer-Mitte)
Controller: D60 / D61
Bewegungsbereich (°)
| θ Achse (Drehung JT2) |
330 ° |
| 440 mm | |
| Z-Achse (hoch-runter JT3) |
832 mm |
| 336 ° | |
| X-Achse (ein / aus JT4) |
|
| W-Achse - niedriger (Drehung JT6) |
- |
| W-Achse - oben (Drehung JT7) |
|
Roboteranwendungen
Sauberes Zimmer
